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            8英寸晶圓是如何進(jìn)行厚度測(cè)試的?回放

            2023-09-08 16:15:00606
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            CHY-C2晶圓測(cè)厚儀

            CHY-C2晶圓測(cè)厚儀采用機(jī)械接觸式測(cè)量方式,嚴(yán)格按照GB/T 6618標(biāo)準(zhǔn)要求設(shè)計(jì),有效保證了測(cè)試的規(guī)范性和準(zhǔn)確性。專業(yè)適用于8英寸/12英寸晶圓板、硅片厚度精確測(cè)量,同時(shí)也滿足塑料薄膜、無紡布、銅箔、金屬鍍層、薄片、隔膜、紙張、箔片等材料的厚度測(cè)量。

            技術(shù)特征

            l 搭載7寸IPS觸控屏,采用進(jìn)口MEAS差動(dòng)電感式位移傳感器分辨率0.1um.

            l 測(cè)試過程按用戶設(shè)定程序,測(cè)量頭自動(dòng)升降測(cè)量,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)打印

            l 支持同組數(shù)據(jù)100個(gè)測(cè)量點(diǎn)數(shù)據(jù)采集,支持500組數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/查詢

            l 支持多級(jí)用戶權(quán)限管理,測(cè)試數(shù)據(jù)歷史記錄可查詢,可審計(jì)追蹤。

            l 實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果的最大值、最小值、平均值以及標(biāo)準(zhǔn)偏差等分析數(shù)據(jù),方便用戶進(jìn)行判斷

            l 配置標(biāo)準(zhǔn)量塊用于系統(tǒng)標(biāo)定,保證測(cè)試的精度和數(shù)據(jù)一致性

            l 可選配自動(dòng)進(jìn)樣裝置,實(shí)現(xiàn)無人工操作,系統(tǒng)全自動(dòng)測(cè)量

            l 配備USB接口,專業(yè)測(cè)控軟件、可通過軟件操控儀器完成各項(xiàng)測(cè)量

            測(cè)試標(biāo)準(zhǔn) 該設(shè)備滿足多項(xiàng)國(guó)家和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn):GB/T 6618-2009ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、GB/T 6672、GB/T 451.3、 GB/T 6547、ASTM D374、ASTM D1777、TAPPI T411、JIS K6250、JIS K6783、JIS Z1702、 BS 3983、BS 4817、GB/T 24218.2

            技術(shù)指標(biāo)

            測(cè)試范圍 0~2 mm(常規(guī)) 0~6 mm(可選)

            分辨率 0.1 μm

            重復(fù)誤差:±0.3um

            臺(tái)面有效尺寸:340mm*480mm

            接觸面積 50 mm2標(biāo)配1.77 mm2可選注:非標(biāo)可定制

            測(cè)量壓力:17.5KPa 注:非標(biāo)可定制

            測(cè)量頭直徑:8mm(標(biāo)配)1.5mm可選注:非標(biāo)可定制

            電源 AC 220V 50Hz

            外形尺寸 630 mm(L)× 340 mm(W)×350 mm(H)

            凈重 35 kg

            產(chǎn)品配置:主機(jī)、標(biāo)準(zhǔn)量塊一件、專業(yè)軟件、通信電纜、測(cè)量頭



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